快速温变控温卡盘
383产品介绍 该产品可以实现快速温度变化,精准控制温度。系统本⾝⾃带制冷机,避免了液氮、⼆氧化碳等的消耗,每个系统均包含了卡盘和冷热控制单元。 系统提供开放的表⾯平整⼯作平台,快速升降温、恒温控制,运⽤...
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适用于半导体晶圆厂的刻蚀、化学气相沉积、物理气相沉积工艺制程,对ETCH、CVD、PVD制程设备的反应腔体进行精确控温 将制冷系统中的制冷剂直接输出蒸发进入目标控制元件(换热器)换热,从而使目标控制对象降温。...
查看全文主要应用与半导体生产过程中及测试环节的温度精准控制40°C以内加热方式采用压缩机热气加热浓 循环系统采用全密闭设计、循环泵采用磁力驱动泵 氨检测,安规检测,确保系统安全可靠 经过24小时连续运行拷机
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冠亚恒温