Chiller高精度冷热循环器

全氟聚醚油CLKDOC138

2025/11/07 17

全氟聚醚油常温下为无色透明的油状液体，耐高温、耐化学腐蚀、抗氧化、抗辐射，主要用作润滑油、真空泵油，由于具有高的稳定性、安全性，特别是在尤为苛刻条件下工作时所表现的高度可靠性，因此，没有任何一种工...

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氢氟醚CLKDOC78

2025/11/07 19

氢氟醚是由氢、氟、氧和碳原子构成的化合物，具有醚结构，臭氧消耗潜能值ODP为零，全球暖化潜势系数GWP低，且大气停留时间很短，被认为是CFCs 理想替代品。除优良的环境性质外，氢氟醚还具有热稳定性和化学稳定性...

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双通道系列 Dual Channel Chiller

2025/07/30 137

产品介绍 FLTZ系列双通道Chillers主要用于半导体制程中对反应腔室温度的精准控制，公司在系统中应用多种算法（PID、前馈PID、无模型自建树算法），显著提升系统的响应速度、控制精度和稳定性。 每个通道具备单独...

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帕尔贴Chiller

2025/07/23 127

产品介绍 冠亚恒温LNEYA 帕尔贴热电制冷器CHILLER温度范围从-20到90℃，专为半导体行业度身定制； 基于经过实践验证的帕尔贴热传导原理，帕尔贴温度控制系统能够为等离子刻蚀应用提供可重复性的温度控制； 对于静...

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负压型控温机组

2025/07/23 122

产品介绍 负压型控温系统通过负压环境下的流体循环实现精准温度控制，原理：通过负压发⽣器驱动导热介质（⽔/油）循环，避免泄漏风险，适用于各种类型板卡冷却。 核心技术与优势 防泄漏设计：系统运⾏时管路处于...

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双通道高温CHILLER

2025/07/23 132

产品介绍 本设备的研发⽬的是开发⼀种专⽤高温控温的Chiller，用来满足半导体⾼温测试需求。 创新点： 介质温度最高可达250℃； 以特殊的⼯艺方式，保证系统高温⼯况下的控温精度。

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