冠亚恒温
面板Chiller
94应用： 该系列产品目前主要应用于面板制程中的薄膜沉积和刻蚀、OLED真空镀膜、Micro-LED热量转移、激光加工等等环节。 产品优势： 稳定运行：精确匹配行业需求，集成多种安全防护功能，保障面板工艺制程稳定运行...
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Chiller高精度冷热循环装置
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常温高精度chiller
160应用： 原理：CHILLER 高精度系列设备集成蒸汽压缩制冷系统与循环介质系统，进行制冷加热，可实现高精度控温，适用于光刻机、涂胶显影设备等领域制冷加热控温。 核心技术与优势： 1.高精度控温：采用PID算法或PLC...
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FLTRZ变频二氧化碳系列chiller
604产品介绍 高效节能：变频压缩机组通过内置变频装置随时根据用户冷热负荷需求改变直流压缩机的运行转速，从而避免压缩机与电加热满负荷对抗，保持机组稳定的工作状态。 快速制冷：变频机组采用先进的变频技术，精...
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FLTZ单通道系列Chiller
656产品介绍 原理：Chiller单通道变频设备集成单级蒸汽压缩制冷系统与循环介质系统，进行制冷加热，并且同时实现精准控温功能，为用户提供相温度的冷却介质，适用于刻蚀、光刻机、涂胶显影设备等设备领域制冷加热控...
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FLTZ变频多通道系列Chiller
610产品介绍 FLTZ系列变频多通道Chillers主要用于半导体制程中对反应腔室温度的精准控制，公司在系统中应用多种算法（PID、前馈PID、无模型自建树算法），显著提升系统的响应速度、控制精度和稳定性。 每个通道具备...
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热电型chiller TEC系列（帕尔贴Chiller）
599产品介绍 冠亚恒温LNEYA 帕尔贴热电制冷器Chiller温度范围从-20℃~90℃，专为半导体行业度身定制； 基于经过实践验证的帕尔贴热传导原理，帕尔贴温度控制系统能够为等离子刻蚀应用提供可重复性的温度控制； 对于静...
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FLTZH高温系列chiller
574产品介绍 CHILLER高温系列主要应用于薄膜沉积领域，适用于CVD、PECVD、MOCVD等需要带走高温热量的工艺制程中，满足半导体高温测试需求。 核心技术与优势： 1、高温范围宽：出口温度zui高可达300℃。 2、控温精准：...
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ETCU换热控温单元
680产品介绍 原理：CHILLER 是通过换热器，将厂务水与载冷介质进行换热，循环泵驱动载冷介质循环，并且同时实现精准控温功能，适用于光刻机、薄膜沉积设备、离子注入机等领域加热冷却 核心技术与优势： 1.加热冷却一...
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