三通道系列 Triple Channel Chiller
312产品介绍 FLTZ系列三通道Chillers主要应用与半导体生产过程中及测试环节的温度精准控制,系统支持三个通道独立控温,每个通道有独立的温度范围、冷却加热能力、导热介质流量等。 公司在系统中应用多种算法(PID、...
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产品介绍 FLTZ系列三通道Chillers主要应用与半导体生产过程中及测试环节的温度精准控制,系统支持三个通道独立控温,每个通道有独立的温度范围、冷却加热能力、导热介质流量等。 公司在系统中应用多种算法(PID、...
查看全文产品介绍 40℃以内加热⽅式采⽤压缩机热⽓加热。 Chiller循环系统采⽤全密闭设计、采⽤磁⼒驱动泵。 Chiller氦检测,安规检测,确保安全可靠。 chiller 经过24⼩时连续运⾏拷机。
查看全文产品介绍 FLTZ系列双通道Chillers主要用于半导体制程中对反应腔室温度的精准控制,公司在系统中应用多种算法(PID、前馈PID、无模型自建树算法),显著提升系统的响应速度、控制精度和稳定性。 每个通道具备单独...
查看全文产品介绍 冠亚恒温LNEYA 帕尔贴热电制冷器CHILLER温度范围从-20到90℃,专为半导体行业度身定制; 基于经过实践验证的帕尔贴热传导原理,帕尔贴温度控制系统能够为等离子刻蚀应用提供可重复性的温度控制; 对于静...
查看全文产品介绍 本设备的研发⽬的是开发⼀种专⽤高温控温的Chiller,用来满足半导体⾼温测试需求。 创新点: 介质温度最高可达250℃; 以特殊的⼯艺方式,保证系统高温⼯况下的控温精度。
查看全文产品介绍 多通道独立控温,可以具备单独的温度范围、冷却加热能⼒、导热介质流量等,采⽤独⽴的两套系统,根据所需的温度范围选择采⽤蒸汽压缩制冷,或者采用ETCU⽆压缩机换热系统,系统可通用膨胀罐、冷凝器、冷...
查看全文产品介绍 多通道独⽴控温,可以具备单独的温度范围、冷却加热能⼒、导热介质流量等,采⽤独⽴的两套系统,根据所需的温度范围选择采⽤蒸汽压缩制冷,或者采⽤ETCU⽆压缩机换热系统,系统可通⽤膨胀罐、冷凝器、冷...
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冠亚恒温