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Chiller高精度冷热循环装置

Chiller高精度冷热循环装置

  • 三通道系列 Triple Channel Chiller

    312

    产品介绍 FLTZ系列三通道Chillers主要应用与半导体生产过程中及测试环节的温度精准控制,系统支持三个通道独立控温,每个通道有独立的温度范围、冷却加热能力、导热介质流量等。 公司在系统中应用多种算法(PID、...

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  • 单通道系列 Single Channel Chiller

    323

    产品介绍 40℃以内加热⽅式采⽤压缩机热⽓加热。 Chiller循环系统采⽤全密闭设计、采⽤磁⼒驱动泵。 Chiller氦检测,安规检测,确保安全可靠。 chiller 经过24⼩时连续运⾏拷机。

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  • 双通道系列 Dual Channel Chiller

    315

    产品介绍 FLTZ系列双通道Chillers主要用于半导体制程中对反应腔室温度的精准控制,公司在系统中应用多种算法(PID、前馈PID、无模型自建树算法),显著提升系统的响应速度、控制精度和稳定性。 每个通道具备单独...

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  • 帕尔贴Chiller

    298

    产品介绍 冠亚恒温LNEYA 帕尔贴热电制冷器CHILLER温度范围从-20到90℃,专为半导体行业度身定制; 基于经过实践验证的帕尔贴热传导原理,帕尔贴温度控制系统能够为等离子刻蚀应用提供可重复性的温度控制; 对于静...

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  • 负压型控温机组

    290

    产品介绍 负压型控温系统通过负压环境下的流体循环实现精准温度控制,原理:通过负压发⽣器驱动导热介质(⽔/油)循环,避免泄漏风险,适用于各种类型板卡冷却。 核心技术与优势 防泄漏设计:系统运⾏时管路处于...

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  • 双通道高温CHILLER

    300

    产品介绍 本设备的研发⽬的是开发⼀种专⽤高温控温的Chiller,用来满足半导体⾼温测试需求。 创新点: 介质温度最高可达250℃; 以特殊的⼯艺方式,保证系统高温⼯况下的控温精度。

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  • ETCU换热控温单元

    388

    产品介绍 多通道独立控温,可以具备单独的温度范围、冷却加热能⼒、导热介质流量等,采⽤独⽴的两套系统,根据所需的温度范围选择采⽤蒸汽压缩制冷,或者采用ETCU⽆压缩机换热系统,系统可通用膨胀罐、冷凝器、冷...

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  • Chiller冷热双路控温机组

    610

    产品介绍 ⽤于120℃高温供热干燥,另⼀侧25℃冷却捕集用途,轻松搭建由(夹套罐体+冷凝器+负压系统)构建废液回收系统用于废液回收升华控温

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  • FLTZ变频多通道系列

    548

    产品介绍 多通道独⽴控温,可以具备单独的温度范围、冷却加热能⼒、导热介质流量等,采⽤独⽴的两套系统,根据所需的温度范围选择采⽤蒸汽压缩制冷,或者采⽤ETCU⽆压缩机换热系统,系统可通⽤膨胀罐、冷凝器、冷...

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  • FLTZ变频系列

    537

    产品介绍 快速制冷:变频机组采⽤先进的变频技术,精确控制压缩和风机运⾏转速,通过电子膨胀阀智能调节,快速制冷。 超低噪⾳:变频机组采⽤变频涡旋或双转子压缩机,大大降低回旋不平衡度,使机组的振动⾮常⼩...

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