面板冷水机

半导体制造用温控设备技术对比分析：面板冷水机与光刻冷水机的差异化设计与应用

2025/06/23 42

在半导体制造领域，温控设备的性能直接影响制程精度与产品良率。面板冷水机与光刻冷水机作为两类关键温控设备，虽均服务于半导体生产流程，但在设计理念与应用场景上存在差异。 一、技术参数与温控能力差异 面板...

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