薄膜沉积直冷机CVD chiller

半导体薄膜沉积直冷机CVD chiller温控技术从系统架构到算法的控温解决方案

2025/06/19 39

在半导体制造过程中，薄膜沉积工艺对温度控制的精度要求苛刻，直接影响材料的晶体结构、薄膜均匀性及器件性能。薄膜沉积直冷机CVD chiller作为实现准确控温的核心设备之一，其温度控制能力依赖于系统设计、硬件配...

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