薄膜沉积冷水机

薄膜沉积冷水机温控系统从双循环协同到工艺匹配性在半导体CVD/PVD制程中的关键作用与优化

2025/06/30 101

在半导体制造的薄膜沉积工艺CVD/PVD中，温度控制的稳定性直接影响薄膜的均匀性、致密度及晶体结构，进而决定芯片的电学性能与可靠性。薄膜沉积冷水机作为工艺温控的核心设备之一，通过成熟的系统设计与准确的控温...

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