双通道直冷机

半导体制造用双通道直冷机技术解析：并行温控架构与准确制冷应用

2025/06/26 75

在半导体制造领域，准确的温度控制有助于器件性能和生产良率。双通道直冷机作为一种温控设备，通过成熟的设计架构，在半导体设备中展现出并行温控能力。这种设备将制冷系统中的制冷剂直接输出蒸发进入目标控制元...

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