冷却通道Chiller

什么是冷却通道chiller

2025/02/11 53

在半导体制造领域，温度控制精度直接影响着产品的性能和良率。冷却通道 Chiller 作为温控设备，为半导体制造设备提供稳定可靠的冷却解决方案。 ‌一、定义‌ 冷却通道Chiller，简称Chiller，是一种专门设计用于提供...

查看全文