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气体捕集器/水汽捕集泵

气体捕集器/水汽捕集泵

气体捕集器/水汽捕集泵
  • 技术参数


气体冷却器

 冷却氮气,氩气和其他气体的冷却器

气体捕集器又叫真空深冷机,气体捕集真空泵,水汽捕集泵,低温镀膜冷冻机,真空深冷机,真空度镀膜机。主要应用于高真空度镀膜、航天领域外太空真空低温环境模拟试验、深低温环境营造等,适用于科研院所、军工航空、生物制药及真空镀膜行业。


应用原理:

在使用油扩散泵的高真空环境中都存在着一定的残余气体,80%以上是水蒸汽、油蒸汽及其它高沸点的蒸汽,但其抽除残余气体的能力低、时间长,而且所有残余气体还是工件的污染源,从而使产品的产量和质量受到影响。深冷泵则是解决这类问题的上佳选择。

深冷泵的工作原理:将一个能到-120℃以下的制冷盘管,放置在真空室中或油扩散泵的泵口,通过其表面的低温冷凝效应,迅速捕集真空系统的残余气体,从而大大缩短抽真空的时间(可缩短60-90%的抽气时间)、获得洁净的真空环境。


在实际应用当中,根据所放的位置不同可以分为两类:

1、水汽捕集器

它的制冷盘管经常被安装在高阀与真空腔之间或真空腔内、卷绕镀膜上下室内等部位。适用于塑料低温镀膜、卷绕镀膜等被镀膜材料放气量较大的场合。盘管需要有加热除霜装置,使盘管每次开门之前恢复到常温,避免低温盘管从大气中吸收大量的水汽而结霜,影响下次抽真空。

2、低温冷阱

放在油扩散泵的泵口,高阀以下,它的主要功能是防止油扩散泵返油,同时也可以加快抽速、提高真空度。由于系统处于真空状态,无需除霜装置。

 本公司研发生产的-135℃深冷水汽捕集泵,采用单台压缩机、自动复叠制冷方式、进口名牌压缩机及制冷配件、环保混合型制冷剂生产,替代液氮,节约成本。具有制冷速度快、效率高、温度低、维护方便等特点。


主要的性能特点:


  • 升降温速率非常快速,150℃~-55℃<10秒
  • 最大气流量:30m³/h
  • 实时监控被测IC真实温度,实现闭环反馈,实时调整气体温度;
  • 升降温时间可控,程序化操作、手动操作、远程控制
  • 测试条件:环境温度20℃,30m³/h,5Bar,压缩空气或氮气
  • 快速吸附水、油蒸汽、可缩短排气时间60-90%;
  • 降温迅速,3分钟内制冷到-120℃,可到-150℃; 2分钟热气除霜,迅速回温,5分钟可再降温;
  • 触摸屏+PLC=完善的自动化控制,显示实时温度变化曲线;
  • 多种安全保障功能,自动报警提醒


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